目前,化学气相沉积(CVD)涂层除用于切削工具以外,还用作许多功能性涂层,例如耐磨和耐腐蚀涂层、金刚石膜、有色超硬镀层,核聚变炉内壁保护膜、透明陶瓷膜、非晶膜、超导膜等。CVD设备一般由气体导入系统、反应
唐华生.化学气相沉积涂层新技术和应用[J].稀有金属材料与工程,1988,(6).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1988,(6).]DOI：[doi]