日本的日立公司最近开发出生产工程陶瓷的新工艺。按照该工艺方法,能生产出尺寸稳定的精密零件,而不再需要经过昂贵的金刚石研磨处理。其步骤如下:把0.9μm的硅粉与16
.生产Si_3N_4/SiC部件新方法[J].稀有金属材料与工程,1989,(1).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1989,(1).]DOI：[doi]