TG174.44
本文概述了离子镀铝设备的简单结构和工作原理,以及沉积室氩气压力、基体温度、沉积速度和基体负偏压工艺参数对铝膜组织的影响。最后列举了一些离子镀铝在飞机制造工业中和其它方面的应用。
于家斗.离子镀铝[J].稀有金属材料与工程,1990,(3).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1990,(3).]DOI：[doi]