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摘要:
本研究通过采用磁控溅射Ag膜和Ti+Ag膜以500℃/6小时通氧热处理方法,使电极接触电阻率达到10~(-5)Ωcm~2数量级。其特点是:与样品表面结合牢,不损坏样品性能,能经受多次的冷热温度循环。可焊性好,有一定的载流能力。试验证明,此方法是获得高质量接点的有效方法,此接点已在直流法、脉冲法测I_c中得到应用。
关键词:高温超导体 电极接点 磁控溅射
引用本文
徐净人 滕鑫康.高温超导体磁控溅射电极接点的研究[J].稀有金属材料与工程,1991,(3):42~45.[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1991,(3):42~45.]
DOI：[doi]
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