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薄膜应力和点阵常数同时测定的S-B聚焦Guinier相机
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S-B Focusing Guinier Camera for Concurrent Determing Film Stress and Lattice Constant
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    摘要:

    叙述了Seemann-Bohlin聚焦Guinier薄膜相机(S-B相机)的衍射几何及应用这种相机同时测定薄膜应力和点阵参数的基本原理。给出了制作S-B相机的设计图。以Nb_3Ge超导薄膜样品为例,具体说明了使用S-B相机同时测定薄膜应力和点阵参数的方法和步骤。

    Abstract:

    Diffraction geometry of Seemann-Bohlin focusing Guinier film camera and the general principle of determing film stress and lattice constant simutaneously by this camera are described. Its design chart is also given. Taking Nb3Ge superconducting film sample for example, the paper has illustrated the determination procedure in details.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

王超群.薄膜应力和点阵常数同时测定的S-B聚焦Guinier相机[J].稀有金属材料与工程,1992,(6).[Wang Chaoqun. S-B Focusing Guinier Camera for Concurrent Determing Film Stress and Lattice Constant[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1992,(6).]
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