TB383
制备纳米级材料的一体化工艺开发原子尺度内的先进材料，需要极净的工作环境，并在极净的基片上将原子一个挨一个地堆积起来。这包括许多过程，如基片清洗、沉积、腐蚀、表面分析、试验等等。由于与每一操作过程相应的仪器设备都有其自身独特的操作要求，而且人们不可能将...
.制备纳米级材料的一体化工艺[J].稀有金属材料与工程,1997,(6).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1997,(6).]DOI：[doi]