在有害可燃气体应用中,应优先考虑其检测。对天然气工业,主要要检测的是甲烷。检测可燃气体的一种常用方法是Pellistor传感技术。Pellistor可检测气体在燃烧中的温度升高。专用的Pellistor结构有一根细Pt丝线圈埋在难熔板下,板上承载有催化剂(通常为Pd)。Pt丝加热催化剂使其到工作温度,当催化剂燃烧时,催化剂温度上升,其电阻的变化使Pt丝可检测到过热情况。然而,因Pt丝很细(10μm～50μm)的Pellistors易损坏,且装置的耗能高(120mW～150mW),所以不得不特殊制作。近来制作的微机械“热板”二维灵敏感结构,其板上有SiO2或SiN受蚀薄层,层…