TG149
国家"863"计划资助项目(2001AA883010)
王昕 马大衍 马胜利 徐可为.脉冲直流PCVD制备Ti(C,N)薄膜及其组织结构分析[J].稀有金属材料与工程,2004,33(2):204~206.[Wang Xin, Ma Dayan, Ma Shengli, Xu Kewei. Microstructure of Ti(C, N) Films Coated by Pulsed-d. c PCVD[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2004,33(2):204~206.]
DOI:[doi]