TG174.4
安徽省教育厅自然科学基金资助(2003kj099)
基于多元素靶溅射的Andersen-Sigmund关系式，在分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化之后，发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比，就可以很容易地计算出三元合金靶稳定态表面化学成分，至少对于用2keV氩离子轰击的Ag-Pd-Au三元合金靶系来说，其计算结果都与实验值一致。所分析的实验数据是在常温下取得的，所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析，其结论很可能是多元合金靶溅射的一般规律。此外，由Gaidikas等最近所提出的所谓择优溅射中的“基体效应”理论是无实验依据的。
张竹林 张莱.三元合金靶择优溅射稳定态的表面化学成分[J].稀有金属材料与工程,2004,33(3):242~245.[Zhang Zhulin, Zhang Lai. Surface Composition Changes of Ternary Alloys in Steady State of Preferential Sputtering[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2004,33(3):242~245.]DOI：[doi]