Thermal Stability of Ti-Si-N Super Hard Nanocomposite Coatings
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摘要:
用脉冲直流等离子体增强化学气相沉积（PCVD）方法在高速钢（HSS）基体上制备了Ti—Si-N薄膜，重点从不同温度退火后薄膜相结构、晶粒尺寸和显微硬度的变化等方面，探讨了不同Si含量的Ti-Si-N薄膜的高温热稳定性。结果表明：Ti-Si-N薄膜在900℃以内退火处理后，晶粒尺寸和显微硬度并无明显突变，尤其是Si含量较低时，在800℃，晶粒尺寸和显微硬度几乎没有变化，表明Ti-Si-N薄膜具有非常良好的高温热稳定性，这可能与薄膜相形成在高温下仍为调幅分解有关。
引用本文
徐建华 马大衍 马胜利 徐可为. Ti-Si-N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性[J].稀有金属材料与工程,2005,34(11):1778~1781.[Xu Jianhua, Ma Dayan, Ma Shengli, Xu Kewei. Thermal Stability of Ti-Si-N Super Hard Nanocomposite Coatings[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(11):1778~1781.]
DOI：[doi]
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- 收稿日期:2004-07-12
- 最后修改日期:2005-07-28