爆炸压实烧结ITO陶瓷靶材的实验研究
中图分类号:
TF124 TN304.21
基金项目:
国家自然科学基金(10172025)，辽宁省自然科学基金(2001101075)资助
Experi Experimental Investigation on ITO Ceramic Target by Using Exploring-Compression Nano-Powder and Sinter Technique
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摘要:
通过爆炸压实烧结纳米ITO粉末制备了ITO陶瓷靶材，结果表明爆炸冲击压实在靶材的后续烧结密实过程中起到了促进作用，它与常规的加压烧结相比，具有操作简单，设备要求低等很多优点。经过爆炸压实的烧结靶材具有细小的晶体颗粒，比商业靶材的晶粒度小约1个数量级。
关键词:爆炸压实烧结 ITO 陶瓷靶材
引用本文
李晓杰 张越举.爆炸压实烧结ITO陶瓷靶材的实验研究[J].稀有金属材料与工程,2005,34(3):417~420.[Li Xiaojie, Zhang Yueju. Experi Experimental Investigation on ITO Ceramic Target by Using Exploring-Compression Nano-Powder and Sinter Technique[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(3):417~420.]
DOI：[doi]
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- 最后修改日期:2003-07-14