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定向沉积法对Nd2Fe14B薄膜形态和磁性能的影响
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TG146.4

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江苏省教育厅高校科学研究项目(03KJD430067)


Influence of Oriented Deposition on Thin Film Morphology and Magnetic Properties of NdFeB
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    采用直流励磁磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜.研究分析了衬底预热与定向沉积法对薄膜结构和磁性能的影响.实验结果表明:定向沉积技术制备出的NdFeB薄膜表面形成单一方向的柱状晶,该柱状晶生长方向垂直于薄膜表面,使薄膜具有良好的磁各向异性,薄膜矫顽力大大提高,H⊥/H∥比值改善.在预热温度200℃逐渐加热到500℃并保温10 min时,薄膜磁性能最佳.

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引用本文

傅明喜 宗华 李岩 查燕清.定向沉积法对Nd2Fe14B薄膜形态和磁性能的影响[J].稀有金属材料与工程,2006,35(7):1109~1112.[Fu Mingxi, Zong Hua, Li Yan, Zha Yanqing. Influence of Oriented Deposition on Thin Film Morphology and Magnetic Properties of NdFeB[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2006,35(7):1109~1112.]
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  • 收稿日期:2005-05-17
  • 最后修改日期:2006-04-10
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