TG154.5
国家自然科学基金(50404011);国家高技术研究发展计划项目(2007AA03Z425);中国博士后科学基金(20040350187)
杨声海,刘银元,邱冠周,唐谟堂.乙醇钽化学气相沉积制备Ta2O5薄膜研究进展[J].稀有金属材料与工程,2007,36(12):2075~2079.[. Recent Progress in Preparation of Ta2O5 Film by CVD Using Ta(OC2H5)5 as Precursor[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(12):2075~2079.]
DOI：[doi]