利用磁控溅射法制备了具有Pt缓冲层的[FePt]50多层膜.通过x射线衍射(XRD)分析和磁性测量研究了不同缓冲层厚度对样品微结构演变和磁性能的影响.结果表明,随着Pt缓冲层厚度(t≤8.6 nm)的增加,薄膜合金的有序化温度明显降低,晶粒尺寸逐渐减小FePt薄膜样品点阵常数c/a的比值逐渐减小,有序度参数S逐渐增大;同时样品的矫顽力也随着缓冲层厚度的增加而增大,在425℃退火的样品,其矫顽力由缓冲层厚度t=0时的398 kA/m增加到t=8.6nm时的523 kA/m(接近无缓冲层样品在500℃退火的值),平均变化率为14.53 kA·m-1/nm,有效地降低了样品的退火温度;与此同时,剩磁比逐渐减小,从0.68减少到0.56.