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用于溅射靶材的高纯钌粉的制备工艺初步研究
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兰州大学,兰州大学

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Preliminary Study on the Process for Producing High-Purity Ruthenium used for sputtering target
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Lanzhou University,Lanzhou University

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章德玉,刘伟生.用于溅射靶材的高纯钌粉的制备工艺初步研究[J].稀有金属材料与工程,2016,45(5):1353~1356.[zhangdeyu, liuweisheng. Preliminary Study on the Process for Producing High-Purity Ruthenium used for sputtering target[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2016,45(5):1353~1356.]
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  • 收稿日期:2009-11-16
  • 最后修改日期:2010-04-02
  • 录用日期:2011-06-14
  • 在线发布日期: 2016-06-02
  • 出版日期: