西安理工大学材料科学与工程学院,南京工业大学材料科学与工程学院,西安理工大学材料科学与工程学院,西安理工大学材料科学与工程学院
国家自然科学基金资助(项目号51271144)
Xi’an University of Technology,Xi’an,Nanjing Tech University,Xi’an University of Technology,Xi’an,Xi’an University of Technology,Xi’an
杨超,蒋百灵,郝娟,冯林.气体放电伏安特性对TiN薄膜结构和性能的影响[J].稀有金属材料与工程,2017,46(5):1419~1424.[Yang Chao, Jiang Bailing, Hao Juan, Feng Lin. Influence of volt-ampere characteristics of gas discharge on structure and properties of TiN films[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2017,46(5):1419~1424.]
DOI:[doi]