2016, 45(5):1320-1324.
摘要:
采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8 %CO硬质合金基体上制备了(Ti, Al, Zr) N/(Ti, Al, Zr, Cr) N和CrN/(Ti, Al, Zr, Cr) N两种四元双层氮化物膜。利用扫描电镜(SEM)、电子能谱仪(EDS)和X射线衍射(XRD)分析两种双层膜的微观组织、成分和结构;利用划痕仪和显微硬度计对比两种双层膜的力学性能。结果表明,获得的两种双层膜均具有B1-NaCl型的TiN面心立方结构;双层膜的组织均是典型的柱状晶结构;沉积偏压为-50 ~ -200 V时,双层膜的力学性能均优于(Ti, Al, Zr, Cr) N单层膜,并与Ti-Al-Zr-Cr-N系梯度膜的力学性能相当,同时(Ti, Al, Zr) N/(Ti, Al, Zr, Cr) N双层膜可获得更高的硬度(最高值为Hv0.01 4100),而CrN/(Ti, Al, Zr, Cr) N双层膜可获得更强的膜/基结合力(所有值均大于200 N)。