摘要:采用室温磁控溅射技术在超细晶TiNi合金表面制备出CNx/SiC(氮化碳/碳化硅)双层薄膜，SiC为中间层。研究了CNx薄膜的组织结构、纳米压痕和摩擦性能。结果表明：CNx薄膜存在微孔缺陷 (基体中夹杂物脱落等原因引起)、石墨含量高、纳米硬度(5.23 GPa)低、弹性模量(33.29 GPa)低，但具有高的硬度与弹性模量比值 (0.157)。在200 g载荷、氮化硅球(半径为2 mm)为对摩件、大气干摩擦条件下，CNx薄膜的摩擦系数约为0.173，磨损后薄膜未出现裂纹和剥落；在500 g载荷、室温Kokubo人体模拟体液下，CNx薄膜的摩擦系数约为0.103，但磨损后薄膜出现剥落。剥落的发生可能是由于SBF溶液通过微孔缺陷进入并腐蚀薄膜-薄膜-基材界面所致