一、引言很多金属及其合金在活性气体中是不稳定的,它们和气体发生化学反应生成化合物。例如生成金属的氧化物、氮化物、硫化物等。在利用汽相沉积方法制备金属防护涂层时也发生类似的反应,生成金属的硅化物、铝化物、硼化物和碳化物等。这种气相和固相之间的反应一般包括气体分子在金属表面上的吸附、气体分子的分解、界面上的化学反应以及反应物质的粒子通过已生成化合物层的扩散。整个反应速度由上述过程中最慢的步骤决定的。实验证明,对于高温下