四、成份分析技术 4.1 X射线能谱的无标样定量分析电子探针仪是一种常规的微区成份分析仪器,它主要是利用电子束去激发试样产生X射线谱,然后依据莫塞莱定律去分析试样的成份。按测量的物理量分,可以分为X射线光谱分析法(WDAX)和X射线能谱分析法(EDAX)两种,其中能谱分析法具有检测效率高、分析速度快、在两三分钟内就能完成全元素的同时分析等优点,因而受到重视。