已经发表过的立体测试技术,可以测量显微形貌中两点之间的距离、高度差等参数。但测量结果受到试样安装方位或测试方位的影响。本方法测量的实际高度(或深度)是指显微形貌中某点相对于邻近平面的高度(或深度),这个实际高度与试样的安装方位或测试方位无关,它是显微形貌自身特征的客观反映。本文推导出实际高度的计算公式,介绍合理的操作方法,同时计算出相对误差可以小于百分之五,而最小测量高度可达340埃。因此,本方法对分析显微结构特别适用,尤其对断口表面的形貌分析更为合适。