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薄膜厚度监测
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TG174.44

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    本文对比较常用的薄膜厚度的监控和测量方法进行详述,并就各种方法进行比较。

    Abstract:

    本文对比较常用的薄膜厚度的监控和测量方法进行详述,并就各种方法进行比较。

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引用本文

林香祝 薛玉娥.薄膜厚度监测[J].稀有金属材料与工程,1989,(2).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1989,(2).]
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