三氟乙酸盐金属有机沉积法（TFA－MOD）是１种化学溶液沉积法，用这种方法制备YBCO超导膜具有很多优点：首先可以精确控制金属成分；第二可以在各种形状的表面上进行涂覆；第三，因为这是１种非真空工艺，所以成本比较低。这种方法的另１个非常重要的优点是薄膜临界电流密度具有很高的重复率。其原因是这种方法中YBCO的结晶不是通过非晶先驱物固态外延形成的，而是１种包括水和氟化物在内的化学转变过程。因此，获得高JcYBCO膜对氧分压，烧结温度等工艺条件的要求不是非常苛刻，可以在比较宽的工艺条件下容易获得高JcYBCO膜。因为…