TG174.44
国家自然科学基金项目（50271053,50371067）,国家自然科学基金委重大国际合作项目（50420130033）,科技部“973”重大基础研究计划项目（2004CB619302）以及教育部新世纪优秀人才支持计划项（NCET-04-0934）的共同支持
牛新平 马大衍 马胜利 徐可为. Ti-Si-N纳米复合薄膜的结构与性能[J].稀有金属材料与工程,2005,34(11):1751~1753.[Niu Xinping, Ma Dayan, Ma Shengli, Xu Kewei. Structure and Properties of Ti-Si-N Nanocomposite Films Prepared by Pulsed-DC Plasma Enhanced CVD[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(11):1751~1753.]
DOI：[doi]