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TiAlCrFeSiBN多元膜的性能与组织结构研究
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TG146.23

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广东省教育厅重点扶持学科项目(980012)


Study on Performance and Microstructure of TiAlCrFeSiBN Films
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    摘要:

    采用电弧离子镀技术、TC7双相钛合金靶沉积TiAlCrFeSiBN薄膜,研究了这种多元膜的显微硬度、高温氧化性能和组织结构。结果表明:这种多元膜具有优于TiN膜的显微硬度;具有不同于TiN膜的显微组织,其最显著的特征是存在较多细小的钛滴,这些钛滴与膜之间的融合效果很好;膜层上孔隙较少;具有TiN的面心立方结构,与TiN膜相比,具有更加明显的择优取向趋势。

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引用本文

谢致薇 王国庆 杨元政 匡同春 白晓军 谢光荣 胡社军. TiAlCrFeSiBN多元膜的性能与组织结构研究[J].稀有金属材料与工程,2005,34(4):648~652.[Xie Zhiwei, Wang Guoqing, Yang Yuanzheng, Kuang Tongchun, Bai Xiaojun, Xie Guangrong, Hu Shejun. Study on Performance and Microstructure of TiAlCrFeSiBN Films[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(4):648~652.]
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  • 最后修改日期:2003-08-12
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