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HF-PCVD法TiO2纳米晶的粒径与晶型控制
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TQ134.11 O614.41

基金项目:

国家自然科学基金资助(29776032);山西省科技攻关项目(202092)


Control of Particle Size and Crystal Phase of TiO2 Nanocrystalline Prepared by HF-PCVD
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    摘要:

    以TiCl4和O2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积(HF-PCVD)法制备了晶化完整的锐钛和金红石混晶型TiO2纳米晶,球形体的晶粒分散性良好,分布较为均匀:研究了控制粒径大小和晶相组成的关键反应条件。XPS,TEM,XRD结果显示:增加TiCl4进料量、延长停留时间均利于锐钛相向金红石相转化,但粒径有所增大:添加A1C13使金红石相含量较未掺杂时有较大幅度提高,且粒径随掺铝量增加而减小。本实验条件下,TiO2纳米晶的粒径为25nm~60nm,金红石相含量在12.O%~53.6%间可控。

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引用本文

徐海萍 孙彦平 王俊文 展红全 陈新谋. HF-PCVD法TiO2纳米晶的粒径与晶型控制[J].稀有金属材料与工程,2005,34(7):1089~1093.[Xu Haiping, Sun Yanping, Wang Junwen, Zhan Hongquan, Chen Xinmou. Control of Particle Size and Crystal Phase of TiO2 Nanocrystalline Prepared by HF-PCVD[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(7):1089~1093.]
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  • 最后修改日期:2003-12-31
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