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部分熔融Ce-Fe合金低温快速抛光CVD金刚石膜
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O613

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Diamond Films by CVD and High Rate Polishing at Low Temperature with Partially Molten Ce-Fe Alloy
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    采用溶碳活性很高的稀土金属Ce和过渡金属Fe熔炼出Ce-7%Fe(原子分数,下同)合金,利用该合金对CVD金刚石膜进行热化学抛光。结果表明:Ce-7%Fe合金在592℃就可以抛光金刚石膜,比报道的稀土抛光温度要低200℃以上;在680℃抛光3h表面粗糙度Ra值由原来的5.95μm降低到0.69μm,抛光效率高达30μm/h;SEM观察表明,抛光使膜的表面光洁度有明显提高;经拉曼光谱检测,抛光没有对金刚石膜造成任何污染。

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李俊杰 王树彬 孙玉静 田莳 张跃.部分熔融Ce-Fe合金低温快速抛光CVD金刚石膜[J].稀有金属材料与工程,2007,36(5):933~936.[Li Junjie, Wang Shubin, Sun Yujing, Tian Shi, Zhang Yue. Diamond Films by CVD and High Rate Polishing at Low Temperature with Partially Molten Ce-Fe Alloy[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(5):933~936.]
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  • 最后修改日期:2006-05-29
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