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含铜螯合物的感光性与CuO的微细图形研究
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TB383

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国家自然科学基金 , 陕西省西安市科技计划


Study on Photosensitive Copper Chelates and the CuO Film Fine-patterning
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    摘要:

    以苯酰丙酮[BzAc]作为化学修饰剂,采用溶胶-凝胶法合成了含铜的螯合物,研究了含铜螯合物的紫外、红外光谱特性.发现在330 nm处有与含铜螯合物相关的吸收峰,当紫外光照射该凝胶薄膜后,与含铜螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含铜螯合物分解.伴随着螯合物的分解,其凝胶薄膜在有机溶剂中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性,利用这种光感应特性,可获得该凝胶薄膜的微细图形.再经过500 ℃热处理,得到了具有立方相氧化铜薄膜的微细图形.

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引用本文

张黄莉,赵高扬,薛人中,彭海军.含铜螯合物的感光性与CuO的微细图形研究[J].稀有金属材料与工程,2008,37(3):464~467.[Zhang Huangli, Zhao Gaoyang, Xue Renzhong, Peng Haijun. Study on Photosensitive Copper Chelates and the CuO Film Fine-patterning[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2008,37(3):464~467.]
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  • 最后修改日期:2007-04-02
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