采用真空自耗电弧熔炼法制备了母合金锭,分别在1400、1450、1500和1550℃下保温24h进行了热处理.采用光学显微镜、扫描电镜、能谱仪和X射线衍射仪对组织进行了观察和分析.结果表明:热处理后的组织仍然由(Nb,Ti)ss和(Nb,Ti)5Si3相组成.随着热处理温度的升高,大块六边形和板条状硅化物逐渐融解破碎成细小硅化物;共晶团中的片状(Nb,Ti)5Si3也逐渐球化和细化.经1450℃,24h热处理后,球化成颗粒状(Nb, Ti)5Si3的平均粒径最小,约为5μm.经1500℃,24h热处理后,组织有轻微的粗化现象,并且有孔洞出现.热处理后,颗粒状(Nb,Ti)5Si3中的Ti含量增加,而Nb含量减少.1450℃,24h是比较合适的热处理工艺.