Influence of Substrate Temperature on the Microstructure of Sc and ScD2 Films

首页 > 过刊浏览>2013年第42卷第7期 >1342-1346

Influence of Substrate Temperature on the Microstructure of Sc and ScD2 Films
DOI:
                        
                    
作者:
                        
                        
                    
作者单位:
作者简介:
通讯作者:
中图分类号:
基金项目:

Author:

Affiliation:

Fund Project:

Science Foundation of China Academy of Engineering Physics (2010A0301011); National Natural Science Foundation of China (50871106)

摘要

图/表

访问统计

参考文献

相似文献

引证文献

资源附件

文章评论

摘要:

采用电子束沉积的方法在底衬Mo (Rq≈5~8.63 nm)上制备了厚度为2~3 μm的Sc膜，再将Sc膜在Sievert真空系统中进行吸氘。结果表明：在底衬温度为623, 823, 1023 K时，Sc膜呈现出柱状结构，且具有(002)的择优生长；随着沉积温度从623 K增大到1023 K，Sc膜的(002)择优生长变强，晶

Abstract:

Scandium films with thickness of ~ 2~3 μm were deposited on Mo substrates with a surface roughness Rq≈5~8.63 nm. Subsequently, the films were converted to scandium dideuteride (ScD2) in the Sievert’s apparatus. A novel substrate preparation process has

参考文献

相似文献

引证文献

引用本文

吴清英,邴文增,龙兴贵,周晓松,刘锦华,罗顺忠. Influence of Substrate Temperature on the Microstructure of Sc and ScD2 Films[J].稀有金属材料与工程,2013,42(7):1342~1346.[Wu Qingying, Bing Wenzeng, Long Xinggui, Zhou Xiaosong, Liu Jinhua, Luo Shunzhong. Influence of Substrate Temperature on the Microstructure of Sc and ScD2 Films[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2013,42(7):1342~1346.]
DOI：[doi]

复制

文章指标

点击次数:
下载次数:
HTML阅读次数:
引用次数:

历史

收稿日期:2012-07-25
最后修改日期:
录用日期:
在线发布日期:
出版日期:

首页

期刊简介

学术影响

编委会

投稿指南

常见问答

联系我们

English

引用本文

文章指标

历史