高纯钛以TiSi、TiN、W-Ti等形式用于超大规模集成电路的电极材料、扩散阻挡层及配线材料等,其中钛是一种重要的金属,特别要求必须充分除去Na、K、U、Th、Fe、Ni、Cr等杂质。 钛的高纯化方法有电解精炼、热分解、高纯钛化合物的还原以及高真空熔炼、惰性气体熔炼、区域熔炼和固相电解等。但大多数方法不可能对全部元素进行分离和精炼,必须同时用两个以上的方法进行精制。