采用硬质薄膜涂层只有在该涂层的机械、物理和化学性能达到严格的要求后才有可能。近来，合成并研究了Ti-B-N，Ti-Si-N ，Ti-Al-N这些新的三组元涂层组分，以及Ti-Al-C-N，Ti-Si-C-N和Ti-B-Si-N的四组元薄膜成分。这些涂层的使用特性之所以高是由于若干因素的组合达到的。如雏晶的尺寸小，分界面的体积份额大，存在微观应力和宏观应力，在嵌入相内非金属元素的相互溶解度增大。在对Ti-Si-C-N和Ti-B-Si-N系纳米晶涂层研究的基础上，研究了颇具前景的Ti-B-N系涂层，即研究了不大浓度的铝与不同沉积涂层参数结合的影响问题，并进…